Titanli aylanuvchi tsilindr nishoni

Bu fizik bug'larni cho'ktirish (PVD) jarayonlarida ishlatiladigan komponent bo'lib, u substratga materialning nozik plyonkalarini joylashtirish usuli hisoblanadi. Titan trubkasi nishoni sof titandan qilingan va PVD jarayonida aylanadigan silindrga o'xshaydi.

PVD jarayoni maqsadli materialni, bu holda titanni bug'lash va uni yupqa plyonka sifatida substratga joylashtirish uchun elektr yoyi yoki magnetronli püskürtme yordamida ishlaydi. Aylanadigan tsilindrning maqsadi titan plyonkasini substratga bir xilda joylashtirish imkonini beradi.

PVD jarayonlarida foydalanishning afzalliklari orasida yotqizilgan plyonkaning yuqori tozaligi, yuqori cho'kish tezligi va plyonkaning yaxshilangan yopishqoqligi kiradi. Magnitronni purkash uchun titanli aylanma nishonlar yuqori sifatli titanium materialdan tayyorlangan va PVD jarayonida yuqori harorat va mexanik kuchlanishlarga bardosh berishga mo'ljallangan.

Spetsifikatsiya Kirish

Oddiy o'lcham turi:

Bizning ustunligimiz

Biz etkazib beradigan titan maqsadlari kichik donalar, bir xil taqsimot, yuqori tozalik, bir nechta qo'shimchalar va yuqori tozalikka ega. Depozitlangan TiN plyonkasi bezak, asbobsozlik, yarimo'tkazgich va boshqa sohalarda yaxshi yopishish, bir xil qoplama va yorqin ranglarda qo'llaniladi.

--Soflik

Malakali titan purkash maqsadini ishlab chiqarish uchun tozalik uning muhim ishlash ko'rsatkichlaridan biridir. Titan nishonining tozaligi sputter qoplamasining ishlashiga katta ta'sir ko'rsatadi. Titan nishonining tozaligi qanchalik yuqori bo'lsa, purkalgan titan plyonkasidagi nopoklik elementi zarralari shunchalik kam bo'ladi, natijada PVD qoplamasining yaxshi ishlashi, shu jumladan korroziyaga chidamliligi va elektr va optik xususiyatlar yaxshilanadi. Biroq, amaliy qo'llanmalarda, turli maqsadlar uchun titan maqsadlari tozaligi uchun turli talablarga ega. Maqsadli material purkashda katod manbai sifatida ishlatiladi va materialdagi nopoklik elementlari va g'ovaklik qo'shimchalari yotqizilgan plyonkaning asosiy ifloslanish manbalari hisoblanadi. G'ovaklik qo'shimchalari asosan ingotni buzilmaydigan sinovdan o'tkazishda olib tashlanadi va olib tashlanmagan g'ovaklik qo'shimchalari purkash jarayonida oqimga olib keladi va shu bilan plyonka sifatiga ta'sir qiladi; nopoklik elementlarining tarkibi faqat sinov natijalarida aks ettirilishi mumkin to'liq element tahlili , umumiy nopoklik miqdori qanchalik past bo'lsa, titanium maqsadining tozaligi qanchalik baland bo'lsa.

--Zichlik

Zichlik, shuningdek, titan maqsadlari sifatini o'lchashda muhim omil hisoblanadi. Maqsadli qattiq moddadagi g'ovaklikni kamaytirish va purkalgan plyonkaning ishlashini yaxshilash uchun odatda yuqori zichlikka ega bo'lish talab qilinadi.

Nishonning zichligi nafaqat püskürtme tezligiga, balki plyonkaning elektr va optik xususiyatlariga ham ta'sir qiladi. Maqsadli zichlik qanchalik baland bo'lsa, filmning ishlashi shunchalik yaxshi bo'ladi. Bundan tashqari, nishonning zichligi va kuchini oshirish nishonga püskürtme paytida termal stressga yaxshiroq bardosh berishga imkon beradi. Zichlik ham maqsadning asosiy ishlash ko'rsatkichlaridan biridir.

--Zarachalar hajmi va uning tarqalishi

Odatda, püskürtme nishonlari don o'lchamlari bir necha mikrometrdan bir necha millimetrgacha bo'lgan polikristalli tuzilmalardir. Xuddi shu maqsad uchun, nishonning zarracha hajmi qanchalik kichik bo'lsa, nishonning chayqalish tezligi tezroq bo'ladi; Bundan tashqari, kichikroq zarracha o'lchamlari farqiga ega bo'lgan maqsad bir xil qalinlikdagi plyonkani sochishi mumkin. Tadqiqot shuni ko'rsatdiki, agar titan nishonining don hajmi 100 mkm dan past bo'lsa va don hajmining o'zgarishi 20% ichida saqlansa, purkalgan plyonkaning sifati sezilarli darajada yaxshilanishi mumkin.

--kristallografik orientatsiya

Titan yaqin o'ralgan olti burchakli tuzilishga ega. Titan nishonining atomlari püskürtme paytida atomlarning olti burchakli yaqin o'ralgan yo'nalishi bo'ylab osongina chayqalganligi sababli, yuqori püskürtme tezligiga erishish uchun maqsadning kristal tuzilishi usulni o'zgartirish orqali o'zgartirilishi mumkin. chayqalish tezligini oshirish uchun. Titan nishonining kristallografik yo'nalishi ham purkalgan plyonkaning qalinligi bir xilligiga katta ta'sir ko'rsatadi.

--Tuzilish bir xilligi

Strukturaviy bir xillik, shuningdek, maqsad sifatini tekshirish uchun muhim ko'rsatkichlardan biridir. Titanli nishonlar uchun mo'ljalning nafaqat püskürtme tekisligi, balki normal yo'nalish tarkibi, don yo'nalishi va o'rtacha don hajmining bir xilligi ham talab qilinadi. Faqat shu tarzda, titan nishoni xizmat muddati davomida bir vaqtning o'zida bir xil qalinlikdagi, ishonchli sifat va izchil don o'lchamiga ega titan plyonkasini olishi mumkin.

Spetsifikatsiya ishi

Aylanish tezligi: maqsad bir xil cho'kma tezligiga erishish va nishonning ishlash muddatini uzaytirish uchun bir necha ming RPMgacha tezlikda aylanish qobiliyatiga ega bo'lishi kerak.

Sovutish: titanium trubkasi nishoni cho'kish jarayonida hosil bo'lgan issiqlikni tarqatish va nishonga zarar etkazmaslik uchun suv bilan sovutilishi kerak.
Qo'llab-quvvatlash plitasi: titaniumli tayanch plitasi odatda aylanadigan silindr nishonini qo'llab-quvvatlash va elektr aloqasini ta'minlash uchun ishlatiladi.
Bog'lanish usuli: Maqsad odatda yaxshi issiqlik va elektr o'tkazuvchanligini ta'minlash uchun diffuziya bog'lash yoki boshqa yuqori quvvatli bog'lash usullari yordamida qo'llab-quvvatlovchi plastinka bilan bog'lanadi.
Soflik: Magnetronli purkash uchun titanli aylanma nishonlar cho'ktirilgan plyonkalardagi aralashmalarni minimallashtirish va barqaror ishlashni ta'minlash uchun yuqori darajadagi tozalikka ega bo'lishi kerak. Nopoklik darajasi ko'pgina ilovalar uchun millionda 1000 qismdan (ppm) kam bo'lishi kerak.

Umuman olganda, titaniumli aylanadigan silindrli nishonning texnik xususiyatlari maxsus dastur talablariga qarab o'zgaradi va maqsad ushbu ehtiyojlarni qondirish uchun moslashtirilishi mumkin.

Issiq teglar: Magnetronli püskürtme uchun titaniumli aylanuvchi nishonlar, titaniumli naycha nishoni